自动电镀设备_自动电镀设备大全

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自动电镀设备大全所述至少一个自旋转搅拌装置设置在所述阳极的上方，每个所述自旋转搅拌装置包括旋转部，当所述晶圆电镀设备作业时，所述旋转部在所述阳极液中自动旋转。本发明的晶圆电镀设备可以自动地对阳极液进行搅拌，使阳极液中的离子浓度保持均匀，同时具有成本低、实现方便、改善电镀效小发猫。

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